- ARUAL

Поиск
Перейти к контенту

Главное меню:

Современная линия нанесения и проявления Р8010

Система P8010 - Современная линия для процессов нанесения и проявления на базе введенных рецептов, основанная на мощном микропроцессоре Rabbit и обладающая  интуитивным графическим интерфейсом пользователя (GUI), что позволяет пользователю получить беспрецедентные возможности автоматических линий.
Система предлагает широкий диапазон функций, которые включают в себя расширенное хранилище рецептов, регистрацию данных, ручной режим и системную сеть.
Система может быть сконфигурирована с модулями нанесения, проявления, сушки и охлаждения.


Подробнее



SVG 8x конвейерная система

Компания C&D изготавливает, модернизирует и восстанавливает SVG 8x конвейерные системы в соответствии с первоначальной спецификации SVG или с собственной инновационной технологие. SVG 86x зарекомендовала себя в обработке квадратных или прямоугольных подложек от 2 до 6 дюймов, в то время как SVG 88x способна обрабатывать подложки от 2 до 8 дюймов. Манипулятор перемещения обеспечивает минимальный контакт с обратной стороной подложки. Данные системы состоят из технологических модулей, которые могут быть легко удалены для поиска и устранения неисправностей и обслуживания. Достаточно крупный корпус дает возможность добавления большего количества модулей.


Подробнее



Установка проявления сухого пленочного фоторезиста Р8060 Copper Bump Developer

Установка P8060 Copper Bump Developer - высокопроизводительная система, специально предназначенная для проявления сухих пленочных фоторезистов.
Теплообменник поддерживает постоянную температуру процесса с точностью ± 2,0 ˚C и достигает 40 ˚С в течение процессов длительного распыления  проявителя, часто требуемых толстыми многослойными пленками. Одновременный контроль температуры проявителя в четырех модулях позволяет достичь максимальной гибкости и производительности. Резервуары C&D могут взаимодействовать с системой подачи, которая разбавляет проявитель из концентрата. Эта система смешивает и наполняет канистры без остановки конвейера для экономии времени и денег.


Подробнее



Кластерная система Р9000

Кластерная система Р9000 производства компании  C&D предназначена для обработки 4"- 8" пластин. P9000 может быть оснащена модулями парообработки, нагревателями и охладителями.
P9000 Высокопроизводительная универсальная кластерная система обработки пластин, которая может быть настроена как для нанесения покрытий, проявления, парообработки, сушки, охлаждения, и т.д., и может обрабатывать широкий спектр фоторезистов и светочувствительных полимеров. Её сложная программная система, наряду с ультрасовременным аппаратным обеспечением, позволяют пользователю проводить параллельную обработку пластин с различными температурными режимами, парообработкой, нанесением и проявлением. Система также легко расширяема, для того, чтобы идти в ногу с ростом бизнеса или технологических требований.


Подробнее



Установка отмывки и очистки одиночной пластины / Lift-Off система
Р8000 - Установка отмывки и очистки одиночных пластин / Lift-Off система является полностью автоматической мойкой, разработанной для щеточной очистки, очистки под высоким давлением, ополаскивания и сушки подложек вращением. Операции щеточной очистки и очистки струёй высокого давления проводятся в более низком положении, в то время как операции промывки, обдува и заключительной сушки происходят в среднем положении шпинделя. Такая конструкция позволяет уменьшить брызги на подложку и механизм обработки и фактически устранить обратное забрызгивание подложки.

Основные характеристики:
  • Размер подложек диаметром от 50 до 200 мм
  • Программируемый робот с возсможностью комбинации полива
  • Безщеточный мотор с цифровым контроллером шпинделя
  • Производительность - 8-20 пласти в час (зависит от процесса)
  • Возможнось применнения ацетона, IPA, NMP и другой химии
  • ПО на базе Windows
  • Хранение рецептов ограничено емкостью




 
Copyright 2016. All rights reserved.
Назад к содержимому | Назад к главному меню