- ARUAL

Поиск
Перейти к контенту

Главное меню:

Экспериментальные и производственные линии компании FHR Anlagenbau GmbH


Компания FHR Anlagenbau GmbH предлагает экспериментальные и производственные линии с оптимизированной производительностью

  • линейные и нелинейные возможности

  • одновременное покрытие фронтальной и обратной сторон

  • множество различных интегрированных технологических процессов


Компания предлагает производственные линии для нанесения покрытий с большой площадью с горизонтальным и вертикальным позиционированием носителей.
Системы могут быть оборудованы как ручным, так и автоматическим режимами и включать в себя различные возможности для предварительной обработки поверхности.

Возможность интеграции различных процессов:

  • магнетронное распыление

  • термическое испарение

  • химическое осаждение из паровой фазы (CVD/PECVD)

  • атомно-слоевое осаждение (ALD)

  • плазменное / реактивно-ионное травление (PE/RIE)

  • отжиг  (FLA/ RTP)


Типичные области применения:

  • Фотовольтаика

  • Концентрация солнечной энергии (CSP)

  • Производство стекла

  • Сенсоры

  • Оптика


FHR.Line.2500.H-PVD - линия осаждения стеклянных покрытий с горизонтальной ориентацией поверхности
(пример применения: осаждение TCO слоев)

 
Copyright 2016. All rights reserved.
Назад к содержимому | Назад к главному меню