- ARUAL

Поиск
Перейти к контенту

Главное меню:

SVG 8x конвейерная система

Компания C&D изготавливает, модернизирует и восстанавливает SVG 8x конвейерные системы в соответствии с первоначальной спецификации SVG или с собственной инновационной технологии. SVG 86x зарекомендовала себя в обработке квадратных или прямоугольных подложек от 2 до 6 дюймов, в то время как SVG 88x способна обрабатывать подложки от 2 до 8 дюймов. Манипулятор перемещения обеспечивает минимальный контакт с обратной стороной подложки. Данные системы состоят из технологических модулей, которые могут быть легко удалены для поиска и устранения неисправностей и обслуживания. Достаточно крупный корпус дает возможность добавления большего количества модулей.


Особенности системы:

Качественные распылительные линии

Возможность одновременной обработки двух разноразмерных подложек без аппаратного переключения (88 модель)
Обновленный ATS манипулятор для улучшенной воспроизводимости (88 модель)
Низк
о турбулентная чаша-ловушка
Высокопроизводительные
приводы для улучшения равномерности и надежности
Цифров
ые вакуумные переключатели
Субмикронны
е возможности
Сертификация CE в соответстви
и с требованиями ЕС

Нанесение


Модуль нанесения SVG 8X стандартно поставляется с поворотным диспенсером, и тремя дозаторами с возможностью добавления четвертого. Система удаления излишек резиста с края (EBR) также входит в стандартную комплектацию.

Дополнительные опции включают:

  • Контроль температуры резиста
  • Контроль потока слива
  • Модуль обработки паром
  • Двухкамерная паровая ванна
  • Мастер рецептов C&D
  • Субмикронные возможности (SMC)
  • Возможность одновременной обработки двух разноразмерных подложек без аппаратного переключения

Низко-турбулентная чаша-ловушка C&D разработана для значительного уменьшения потока отходов максимум на 60%, таким образом, замедляя процесс сушки резиста и фактически устраняя возможность образования частиц на чаше. Верхняя секция чаши определяется размером подложки, что гарантирует, что поток отходов будет оптимизирован для данного размера подложки.

Проявление

Система
SVG 8X поставляется либо со стационарной или подвижной дозирующей системой и одинарным или двойным дозатором.

Дополнительные опции включают в себя:

Постоянный контроль температуры
Контроль потока отходов
Мастер рецептов C&D
Возможность визуализации
Возможность одновременной обработки двух разноразмерных подложек без аппаратного переключения

 
Copyright 2016. All rights reserved.
Назад к содержимому | Назад к главному меню