- ARUAL

Поиск
Перейти к контенту

Главное меню:


Roll-toRoll системы компании FHR Anlagenbau GmbH


Системы осаждения тонких пленок на гибкие носители.

  • Высокоточные системы с индивидуальным управлением

  • Интеграция измерительного оборудования

  • Производство гибких тонкопленочных солнечных элементов


Возможность интеграции технологических процессов:

  • Магнетронного распыления

  • Термического испарения

  • Плазменного травления (PE)


Типичные области применения

  • Фотовольтаика

  • OLED дисплеи

  • Сенсорные технологии

  • Упаковка


Катоды с вращающимися мишенями в системе Roll-to-Roll


FHR.Roll.300-PECVD система с процессом PECVD для 300 мм гибких носителей
(пример применений: элементы солнечных батарей на основе кремния)


FHR.Roll.300-PVD - платформа с интегрированными процессами напыления и осаждения
(пример применения: элементы солнечных батарей на основе CIGS)

 
Copyright 2016. All rights reserved.
Назад к содержимому | Назад к главному меню