- ARUAL

Поиск
Перейти к контенту

Главное меню:

Автоматическая установка плазменной декапсуляции
PLASER

Автоматическая установка плазменной декапсуляции PLASER компании BSET EQ обладает многими особенностями, что делает её выбором многих пользователей во всем мире.

Особенности
  • Современный контроллер
  • Технология “Next step” Fillerblast®
  • Визуализация процесса на мониторе
  • Обнаружение конечной точки посредством анализа изображения
  • Прецизионный автоматический столик
  • Собственный источник плазмы
  • Переключатель для анизотропного травления
  • Контроллер мощности плазмы
  • Прецизионный контроль температуры столика
  • Специальная вакуумная конструкция для защиты насоса

Plaser™ использует несколько передовых технологий для достижения лучших результатов, доступных сегодня в плазменной декапсуляции.

  • Точное и повторяемое место расположения образца в камере
  • Автоматический столик для крепления образца перемещается в камеру после запуска программы оператором
  • Автоматические откачка камеры, запуск процессионных газов и начало процесса
  • Вентиляция камеры и перемещение образца в зону fillerblast для автоматического удаления неорганических частиц каждые 5-10 минут
  • Автоматическое перемещение образца в камеру после процедуры удаления неорганических частиц и вывод изображения на экран
  • Анализ изображения для определения конечной точки
  • Повторение процесса при необходимости
  • Типичное время процесса травления от верхней точки до контактов около 1 часа


 
Copyright 2016. All rights reserved.
Назад к содержимому | Назад к главному меню