Двухкамерные системы - ARUAL

Поиск
Перейти к контенту

Главное меню:

Двухкамерные системы

Проектирование и производство двухкамерных систем позволило увеличить способность оборудования в двое без увеличения занимаемой площади. Также появилась возможность снижения расходов за счет возможности использования одной вакуумной системы и блоков питания. Камеры изолированы друг от друга системой клапанов и могут быть откачаны и провентилированы индивидуально. Также возможна комплектация с индивидуальными шлюзами и вакуумной системой перемещения.

Типичные комбинации двухкамерных систем:

RIE & PECVD
RIE & Sputtering
Sputtering & Ion Beam Etching
и т.д.


Опции
  • Вакуумная система перемещения
  • Индивидуальный шлюз для каждой камеры
  • Индивидуальная система откачки
Особенности:
  • Занимаемое пространство 26" x 44" с закрытым корпусом - идеально для чистых комнат
  • Автоматическое или ручное управление с ПК
  • Современный пользовательский интерфейс
  • Экстренное отключение и блокировки безопасности
  • Стандартная гарантия 12 месяцев
Системы и подсистемы
Ионный луч и PVD
PECVD и магнетрон
PECVD  и  RIE
 
Copyright 2016. All rights reserved.
Назад к содержимому | Назад к главному меню