- ARUAL

Поиск
Перейти к контенту

Главное меню:

Кластерная система нанесения и проявления Р9000



P9000 Высокопроизводительная универсальная кластерная система обработки пластин, которая может быть настроена как для нанесения покрытий, проявления, парообработки, сушки, охлаждения, и т.д., и может обрабатывать широкий спектр фоторезистов и светочувствительных полимеров. Её сложная программная система, наряду с ультрасовременным аппаратным обеспечением, позволяют пользователю проводить параллельную обработку пластин с различными температурными режимами, парообработкой, нанесением и проявлением. Система также легко расширяема, для того, чтобы идти в ногу с ростом бизнеса или технологических требований.

Основные характеристики

  • Возможность обработки 50мм-300мм пластин

  • Возможность обработки квадратных пластин

  • Мощный графический интерфейс пользователя

Графический интерфейс C&D (GUI) в сочетании с микропроцессором Rabbit обеспечивает мощную систему управления. Эта система управления позволяет проводить мониторинг параметров процесса в режиме реального времени, а также запись данных, отчетов о событиях и пакетных отчетов. Универсальность система управления C&D позволяет одновременный запуск двух отдельных процессов. Эта функция позволяет в полной мере использовать все технологические модули, тем самым увеличивая производительность системы.

  • Возможность запуска двух параллельных рецептов

P9000 имеет два индексатора кассет, которые можно запрограммировать самостоятельно. Две загрузочные кассетные платформы позволяют  запускать процесс на 50 пластин или два процесса по 25 пластин. P9000 позволяет добавлять модули без увеличения занимаемой площади.

  • Центральный робот с двумя захватами

Центральный робот обеспечивает надежность, а также оснащен двойным захватом для обработки больших объемов и пластин, чувствительных к температуре.


  • Высокопроизводительный двигатель для улучшения однородности и надежности

  • Сертификация CE в соответствии с требованиями ЕС
 
Copyright 2016. All rights reserved.
Назад к содержимому | Назад к главному меню