- ARUAL

Поиск
Перейти к контенту

Главное меню:

Установка проявления сухого пленочного фоторезиста Р8060 Copper Bump Developer

Установка P8060 Copper Bump Developer - высокопроизводительная система, специально предназначенная для проявления сухих пленочных фоторезистов.

В системе расположены четыре технологических модуля, множество форсунок, специфичных для конкретного пользователя и регулировки расходом и давлением проявителя. Тренировочный режим дает оператору возможность проведения гибкого тестирования и оптимизации распыления, давления и расхода проявителя перед запуском производства.

Высок
опроизводительный двигатель, наряду с специфичными для конкретного пользователя форсунками, шаговый двигатель манипулятора, и постоянный контроль расхода и температуры проявителя оптимизированы управлением C&D. Перемещение данного манипулятора оптимизировано для проведения данных процессов.

Основные характеристики

  • Возможность обработки подложек от 50 до 200 мм

  • Большой теплообменник может одновременно контролировать температуру на четырех процессионных модулях, для обеспечения максимальной гибкости и производительности.


Теплообменник поддерживает постоянную температуру процесса с точностью ± 2,0 ˚C и достигает 40 ˚С в течение процессов длительного распыления  проявителя, часто требуемых толстыми многослойными пленками. Одновременный контроль температуры проявителя в четырех модулях позволяет достичь максимальной гибкости и производительности. Резервуары C&D могут взаимодействовать с системой подачи, которая разбавляет проявитель из концентрата. Эта система смешивает и наполняет канистры без остановки конвейера для экономии времени и денег.


  • Тренировочный режим позволяет легко выполнять обслуживание системы и устранение неполадок

  • Интуитивное программное обеспечение для быстрого создания рецептов

  • Обновленный ATS манипулятор для улучшенной воспроизводимости

  • Сертификация CE в соответствии с требованиями ЕС


Опции

  • SECS / GEM

Системы нанесения и проявления
C&D Semiconductor Service

P8010

SVG8x


P9000





Открыть брошюру по системе Р8060 Copper Bump Developer

 
Copyright 2016. All rights reserved.
Назад к содержимому | Назад к главному меню