- ARUAL

Поиск
Перейти к контенту

Главное меню:


Модуль интерферометрического измерения толщины


Интерферометрическая система измерения толщины F3-XXT позволяет проводить одно- или многоточечные бесконтактные измерения кремния и других полупроводниковых подложек.

Разработанная  командой специалистов, система F3-XXT обеспечивает точное измерение материалов подложки - от не утоненного до умеренно утоненного кристалла.

Воспроизводимые результаты также могут быть достигнуты на предварительно полированных и даже серых (шлифованных) поверхностях.

Измеренные точки могут быть получены в виде ступенчатой матрицы  и могут быть сохранены в отчете или в виде наборов данных - позволяющих ввести их в автоматическую установку механической декапсуляции ASAP-1 IPS.

Это позволяет модифицировать процесс и помогает обеспечить достижение наилучшего результата и равномерности толщины.



F3-XXT система с установкой ASAP-1 IPS и модулем PEEK


 
Copyright 2016. All rights reserved.
Назад к содержимому | Назад к главному меню