- ARUAL

Поиск
Перейти к контенту

Главное меню:


Кластерные системы производства FHR Anlagenbau GmbH


Свободно конфигурируемые кластерные системы для исследования и производства

-
Гибкая модульная система
-
Интеграция многочисленных технологических процессов
-
Обработка полупроводниковых пластин по промышленным стандартам

Компания может предложить
гибкие модульные решения для процессов обработки пластин различных диаметров.
С
истемы могут конфигурироваться с непревзойденной гибкостью, как для исследований так и для промышленного производства изделий микроэлектроники.
Возможность изготовления систем с
конфигурацией необходимой заказчику.

Возможность интеграции различных процессов:

  • магнетронное распыление

  • термическое испарение

  • химическое осаждение из паровой фазы (CVD/PECVD)

  • атомно-слоевое осаждение (ALD)

  • плазменное / реактивно-ионное травление (PE/RIE)

  • отжиг  (FLA/ RTP)


Типичные
области применения:

  • полупроводники

  • оптика

  • сенсоры

  • фотовольтаика



FHR.Star.250-PVD - Система осаждения оптических покрытий

 
Copyright 2016. All rights reserved.
Назад к содержимому | Назад к главному меню