- ARUAL

Поиск
Перейти к контенту

Главное меню:

Система оплавления Р7000


Система оплавления P7000 Alloy system - является модернизированным мульти-плиточным конвейером, специально разработанным для обработки омических контактов.
Система предназначена прежде всего для обработки 50мм-200мм GaAs и InP пластин.
Простая в использовании система
является экономически эффективной альтернативой дорогим системам быстрого термического отжига (RTA), превосходя их по производительности примерно в два раза.

Основные характеристики

  • Термообработка при температуре до 500 °C

  • Возможность откачки и использования нескольких газов

  • Бесконтактный нагрев для получения большей равномерности нагрева и снижения загрязнения обратной стороны

  • Деликатное охлаждение и манипуляции для эффективного снижения деформации пластин

  • Обновленный ATS манипулятор для улучшенной воспроизводимости

  • Минимальный контакт с обратной стороной

  • Высокая пропускная способность на долю стоимости быстрого термического отжига (RTA)

  • Опциональная возможность одновременной обработки двух разноразмерных подложек без аппаратного переключения

  • Маркировка СЕ в соответствии с требованиями обеспечения соблюдения безопасности, здоровья и экологических требовании




Температурное изменение достигается путем варьирования скорости движения пластины вверх-вниз, которая контролирует расстояние от пластины к плите.
Пластина помещаются на три вывода, которые могут быть запрограммированы для подъема и опускания с заданной скоростью, что позволяет уменьшить вероятность деформации пластины.
Регулируемый поток азота наносится на пластину
через определенные промежутки времени. Это гарантирует, что пластина является достаточно охлажденной перед её перемещением на плиту охлаждения, а затем в кассету.

 
Copyright 2016. All rights reserved.
Назад к содержимому | Назад к главному меню